2015年10月5日

オプチカルフラットによる平面度の測定

テクノライズのホームページの中で、技術情報のページは意外とアクセスがあるのです。

おそらくは、学生さんとか新しく研究部署に配属された方とかが調べ物として検索して辿り着くのだろうなと思います。


実のところ、技術には疎いわたくし、この技術情報のページにある文字だけの説明では、まったくイメージが浮かびません・・・。

そこで今回は平面度の測定方法について、営業スタッフから少し詳しく教えてもらいました。

まずは、技術情報ページの測定方法を見ると

(A) オプチカルフラットによる測定
この原理は、完全に平坦の出た(1/5~1/10ライトバンド)基準原器(オプチカルフラット)とワークを接触させて、そこに、短波長光源を当てることにより、光学的に干渉縞を発生させ、その干渉縞により平面度を測定するものです。つまり、ワークと光学基準原器(オプチカルフラット)との一種の比較測定となります。
面粗度が鏡面まで出ていない場合は、光学測定できませんので、(C)の方法により、測定します。

とあります。

では、この「オプチカルフラット・基準原器」というものはどんなものなのでしょう?

ずばり、これです。


オプチカルフラット


このレンズのようなものがオプチカルフラットで、これを平面度を測定するもの(ワーク)の上に乗せて測定用の光源を当てると・・・

綺麗な平面であれば綺麗な縞模様が、高低差があると、地図の等高線のような模様が現れます。

この写真(測定用光源ではなく室内の蛍光灯のもとで撮影)は、測られる側も実際のワークではなくオプチカルフラットなので、きっちり平面が出ていますから、綺麗に揃った虹色の縦縞が見えると思います。


なるほど。
百聞は一見にしかず、ですね。

次回は、レーザー干渉計や3点ゲージによる測定方法について聞いてみることにします。


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